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  专利号:ZL201220161303.8
  型号:XTL-3K
  用途:快速检测光滑表面微小缺陷及污迹;镀膜表面的缺膜等
 
 
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  专利号:ZL201220088148.1
  型号:TJC-750A
  用途:1. 微观尺寸、套刻分析  2. 点距测量  3. 缺陷标注
 

 

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  型号:TJC-750S
  用途:裸片、划片检查及标记
 
 
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型号:TJC-850
用途:压电晶体表面经镀铝、光刻、腐蚀后的梳状电极尺寸检测
特点:自动聚焦系统,排除人为误差,专利声表描片软件系统,可描绘声表微观形态,数据可与MATLAB接口
 
 
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