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【T系列—声表binance注册】
系统配置：
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用途 |
1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注 |
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型号 |
TJC-950UV |
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载物台 |
手动/自动载物台可选
行程：158mm X 158mm
210mm X 210mm |
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探测系统 |
高品质工业用显微镜，5X~150X物镜可选 |
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成像系统 |
高品质CCD成像系统 |
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照明系统 |
透射、反射照明可选，可切换明、暗场观察法 |
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夹具 |
支持夹具定制：
—用于划片观测的夹具，可实现夹紧、旋转及
在0°、90°、180°、270°的锁定功能
—用于裸片观测的夹具，以NOTCH作为机械定位
基准，实现真空吸附功能 |
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反馈系统 |
线性反馈尺，解析率：1.0um/ 0.1um可选 |
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隔振系统 |
隔振平台，有效隔离高频振动 |
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软件系统 |
全功能图像处理图像处理软件系统及批处理测控语言，支持拼图功能，提供各类数据库接口，可将测量结果上传至工艺主控终端 |
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检查性能 |
微观两维尺寸检测3σ≦5nm，精度±5um |
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外观尺寸 |
长：1200mm 宽：800mm 高：1500mm |
| 附加机构 | 自动上下片装卸装置及激光自聚焦系统可选 |
软件特点：
