首页 > 产品信息
【T系列—标尺计量仪】
系统配置：
|
用途 |
1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注 |
|
型号 |
TJC-105L |
|
载物台 |
全自动载物台，
行程：105mm X 105mm |
|
探测系统 |
工业显微镜，综合放大倍率8.0X ~100X |
|
成像系统 |
高品质CCD成像系统 |
|
照明系统 |
同轴、环形照明可选 |
|
夹具 |
支持夹具定制：
—用于划片观测的夹具，可实现夹紧、旋转及
在0°、90°、180°、270°的锁定功能
—用于裸片观测的夹具，以NOTCH作为机械定位
基准，实现真空吸附功能 |
|
反馈系统 |
线性反馈尺，解析率：1.0um/ 0.1um可选 |
|
隔振系统 |
隔振平台，有效隔离高频振动 |
|
软件系统 |
全功能图像处理软件系统及批处理测控语言，支持拼图功能，提供各类数据库接口，可将测量结果上传至工艺主控终端 |
|
检查性能 |
微观两维尺寸检测3σ≦0.2um,精度±0.2um |
|
外观尺寸 |
主机外观尺寸：
550mm *550mm *700mm |
测量实例：
